微透镜阵列由光学孔径为微米级、起伏深度为纳米级的透镜组成。它具有聚焦和成像的基本功能。它单元尺寸小,集成度高,可以完成传统光学元件无法完成的功能,可以构成许多新的光学系统。主要用于Shack-Hartmann波前传感、红外焦平面检测或CCD阵列聚光、激光阵列扫描、激光显示、光纤耦合等系统。
标准微透镜阵列说明
微透镜阵列是以规则图案排列的多个相同形状的微型小透镜的阵列。小透镜的形状可以是圆形、正方形、六边形、正方形或其他形状,其中大多数是正方形网格。它们也可以排列成正方形、六边形或其他形状。微透镜具有小型化、集成化和设计自由的特点。它能够实现激光均匀化、光束分割和光束聚焦、哈特曼波前传感器(HSWFS)、准直、波前传感等。一般用于高灵敏度成像、光纤耦合通信、激光美容、激光加工和检测。
标准微透镜阵列规范
1. 基板:熔融二氧化硅、石英、ZnSe、硅、BK7玻璃等。
2. 结构:球面透镜、非球面透镜、柱面透镜等。
3. 排列方形阵列方形透镜、方形阵列圆形透镜、六边形排列、随机排列等。
4. 微透镜周期(子单元直径)、焦距、蚀刻深度(高度)、曲率半径
5. 表面形状:对于衍射元件,一般有连续表面类型和不连续表面形状(台阶型)两种。连续表面型可以消除色差,适用于宽带系统成像和螺旋相位板等应用。