铝制保温板

精准

Durex 利用最先进的加热器技术，专门为半导体加工 200mm、300mm 和 450mm 晶圆制造精密铸造烘焙平台。 浇注式板式加热器采用纯铝 (99.7%) 铸造，以确保最高工作温度为 450° C (842° F)，且过程污染风险降至最低。 对铸造过程进行控制，以消除加工表面或铸造体中因孔隙而造成的任何缺陷。 在整个铸件中分布着矿物绝缘加热元件，以提供表面温度均匀性 ± 1% 或更好的过程工作温度。 可用的硬阳极氧化表面在铸造烤板加热器的工作表面上提供耐磨介质屏障。