压电转台式阶段
动态结构和材料提议按客户需要设计对于独特的安置的应用和环境是必需的转台式和线性压力阶段的能力。 DSM的弯曲机制设计用于后退和无stiction表现是重要的micropositioning和nanopositioning的应用。
一个习惯,多轴的设计的一个代表性例子为0.5mm线性旅行要求a +0.25程度旋转的阶段登上对二个手工可调整的弯曲阶段和+/- 2度自转(没显示)。 使用涡流接近度位移传感器和SA DSM的伺服机放大器,转台式阶段为闭环操作设计。 汇编的总脚印是大约25 x 60 mm。
在实际闭环应用,这个阶段在10 msec内达到了10%的期望移动和定居操作全方位自转。
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