XYZ轴位移台

线性压电3轴

真空的3轴阶段 当其中一名DSM的顾客要求一个习惯三轴的定位系统， DSM支持它的flextensional压力作动器基于弯曲的设计创造独立X、Y和Z阶段。 发生的X和Y演出其中每一提供200微米旅行，并且Z轴有500微米冲程。 原始的阶段汇编为真空兼容性设计和带有DSM的VF线性压力放大器benchtop模型。 阶段系统的基本设计是可升级的对更小或更大的位移能力。 第二代产品交付对上面原始，开放环路的XYZ系统， DSM的顾客请求闭环能力X和Ｙ轴。 DSM合并了电容探针并且使用SA-100线性伺服放大器提供独立伺服操纵。 24位模拟输入接受位置目标信号，并且数字式输入/输出为“在范围”和数据收集触发器提供旗子。