10.5 升的 Low Cost 等离子体实验室设备 ATTO 配有手动型、PC 和 PCCE 控制系统,主要用于以下领域:
小批量生产、分析 (REM, TEM)、医疗技术、灭菌、研究和开发部门、考古、纺织技术、塑料技术
外壳
宽 425 mm、高 275 mm、深 450 mm
宽 525 mm、高 257 mm、深 450 mm
真空腔室
玻璃(硼硅玻璃)材质
∅ 211 mm,长 300 mm
装载件
产品支架:铝板、不锈钢板、硼硅玻璃
腔室容积
约 10.5 升
气体供给
2 个由针型阀控制的气体通道
MFC
发生器
40 kHz/200 W
13.56 MHz/300W
真空泵
抽吸性能:最小 3 m3/h
部件支架
1 个产品支架
控制系统
手动
PCCE 控制系统 (Microsoft Windows CE)
旋转开关