等离子表面处理机 Zepto

实验室

2.6 升的 Low Cost 等离子体实验室设备 ZEPTO 配有手动型、PC 和 PCCE 控制系统，主要用于以下领域: 小批量生产, 分析 (REM, TEM), 医疗技术, 灭菌, 研究和开发部门, 考古, 纺织技术, 塑料技术 基本装备 根据组件/选装件，外壳规格会有所不同 腔室容积：根据具体版本 1.7 - 2.6 升 供电电源：230 V 气体供给 针型阀 质量流量控制器 (MFC) 真空腔室 带盖圆形硼硅玻璃 (UHP)（大约 ∅ 105 mm，长 200 mm 或长 300 mm） W6（约 ∅ 160 mm，长 180mm） 装载件 产品支架：铝板、不锈钢板、硼硅玻璃 电极 单层或多层 真空腔室外部的一对电极 控制系统 手动 PCCE 控制系统 (Microsoft Windows CE) 旋转开关 压力测量 Pirani 计时器 数字 模拟 发生器 频率： 40 kHz：功率 0 - 100 W 13.56 MHz：功率 0 - 200 W 其他选项 备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、法拉第笼、等离子体聚合配件、测试墨水、氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、维护/服务、当地语言的文件、现场安装，包括培训。可应要求提供的其他选项。