迪纳电子的等离子体系统早已在广泛的工业领域确立了自己的地位。有了Nano低压等离子体系统,你可以在真空中依靠现代的、面向未来的冷等离子体技术。该等离子体系统的腔体容积为18至24升,为实验室和批量生产提供了足够的空间。
低压等离子体处理是一种成熟的技术,用于可控的超细清洗、改善附着力(活化和蚀刻)以及基材表面的薄层涂层。等离子体是通过在真空室中施加高频电压产生的。在此过程中,引入的工艺气体被电离。
应用的领域:
有机残留物的无VOC清洗。
喷漆、胶合、浇注前的活化。
蚀刻PTFE、光刻胶、氧化层、...
超疏水和亲水涂层。
主要特点:
台式或落地式
真空室:不锈钢、铝、硼硅酸盐或石英玻璃
箱体容积:18 - 24升
气体供应:质量流量控制器(MFCs)
发电机的频率:100 kHz (0 - 500 W), 80 kHz (0 - 1000 W), 13.56 MHz (0 - 300 W), 2.45 GHz (0 - 600 W)
控制装置:半自动,旋转开关,基本PC控制(Windows CE),完全PC控制(Windows 10 IoT)。
压力测量:皮拉尼、电容式压力计
纳米等离子体系统主要应用于以下领域:
分析、考古、汽车、研发部门、半导体技术、小批量生产、塑料技术、医疗技术、微系统技术、传感器技术、消毒、纺织技术。
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