等离子表面处理机 Zepto

自动实验室真空

迪纳电子的等离子体系统早已在广泛的工业领域确立了自己的地位。有了Zepto低压等离子体系统，您可以在真空中依靠现代的、面向未来的冷等离子体技术。这种等离子体系统的腔体容积约为1-4升，为实验室和小批量生产提供了足够的空间。 低压等离子体处理是一种成熟的技术，可用于受控的超细清洗、附着力增强（活化和蚀刻）以及基材表面的薄膜涂层。等离子体是通过在真空室中施加高频电压产生的。在此过程中，引入的工艺气体被电离。 应用的领域： 有机残留物的无VOC清洗 喷漆、涂胶、灌封前的活化... 主要特点： 桌子外壳 真空室：硼硅酸盐玻璃，RIE-钟形铝，矩形室，钠钙玻璃 真空室容积：约1-4升 气体供应：针阀，质量流量控制器(MFC) 发电机频率：40 / 100 kHz功率0 - 100 W，13.56 MHz功率0 - 200 W，2.45 GHz功率0 - 150 W 控制：手动、旋转开关、基本PC控制（Windows CE）。 Zepto等离子体系统主要应用于以下领域： 分析、考古、汽车、研发部门、半导体技术、小批量生产、塑料技术、医疗技术、微系统技术、传感器技术、消毒、纺织技术