等离子表面处理机 Bell Jar 35

真空

等离子体腔室或者接收器被称为腔室，其中的 工艺气体 处于低压状态。该腔室被设计为压力容器。其由不会被所使用的工艺气体腐蚀的材料制成，通常由不锈钢制成。对于某些工艺流程而言，必须使用高纯度石英玻璃材质的接收器。 默认情况下，腔室（接收器）为不锈钢材质 在研究设备 Bell Jar 中，等离子体腔室是高纯度石英玻璃材质的钟罩