自动化系统 Versa

Denton Vacuum专有的Versa集群平台是用于大批量生产的自动化前端选项。它最多可以配置两个盒式装载锁和六个镀膜室或模块。一个机器人半导体级处理机将基片从装载锁中移到模块中，在不破坏真空的情况下进行多层不同材料的镀膜。 Versa被设计用于200毫米或300毫米工艺模块。它与Discovery溅射模块和Voyager PE-CVD系统兼容，并具有专用的溅射刻蚀模块和专用的计量选项。还有一个专用的预清洁模块，以及基片调节。 为了在薄膜沉积过程中实现大批量生产，Versa在Denton的ProcessPro-HV软件上运行，该软件使用完全自动化的材料调度器和配方管理器来加载模块，并在多个腔室中准确和高效地执行工艺步骤。ProcessPro-HV符合SEMI E95标准，并在工具中具有全面的数据记录和图表功能，用于过程控制和分析。 Versa能够提高生产效率，满足更高的产量要求。它使装载过程自动化，以便您能最大限度地提高效率，并与金属和氧化物沉积兼容。多腔体配置使您可以在不破坏真空的情况下一次镀膜多层，而且您可以通过只对盒式装载锁而不是整个溅射模块进行排气来节省时间。