密度监控系统 LambdaPro® OMS

用于电子工业红外激光

Denton Vacuum的LambdaPro® OMS使您能够在运行期间控制沉积，并在不同的运行中实现可重复的性能，从而使产量最大化。LamdaPro OMS在沉积过程中利用基片或见证芯片的反射或透射，实时监测光学器件的特性。这种对基片的直接监测或对见证芯片的间接监测使您能够在所需的光学厚度上终止沉积。 LambdaPro®光学监测系统是高度可配置的，以满足您的确切规格，并将导致多层光学器件的产量增加。这个解决方案提供了与Denton的计算机控制系统的完全整合，既提供了高信号扫描率和模拟到数字的转换，同时在反射和透射模式下工作。 抗反射和高反射涂层 激光切面 光学传感器和过滤器 带通滤波器 红外线滤光片和涂层 中性密度滤光片 金属化 光束分配器 LambdaPro® OMS在光学厚度和均匀性方面为多个薄膜堆提供了戏剧性的结果，同时对正在实现的指数以及薄膜的化学计量提供敏锐的洞察力。由于我们的OMS测量的是光学厚度而不是物理厚度，所以这个解决方案对于复杂的多层光学堆栈来说是非常好的。