离子源 Endeavor RF

Denton的Endeavor射频离子源的设计是在没有灯丝的情况下运行的，并使用一个单一的提取网格。由于从源头提取的电子流量足以中和离子束的空间电荷并消除腔内的空间电荷电弧，这种射频离子源不需要辅助的电子中和器，如热丝或空心阴极。 研究和制造的。 光学设备 光电子学 磁和微电子器件 产生和控制具有特定能量、化学反应性、电流密度和轨迹的离子物种的能力，使离子源成为创造精密薄膜和表面的有效工具。致密化、光学传输、临界厚度均匀性、光滑的界面、改进的粘附性和垂直侧壁是离子源在薄膜沉积过程中实现的一些受欢迎的材料特性。 Denton提供我们内部开发的CC-106离子源。CC-106是一个宽束冷阴极直流源，设计用于离子辅助沉积和预清洁过程，使用氧气或氩气。 我们现在提供我们新的无灯丝Endeavor射频离子源，目前可用于新系统。