CVD镀膜机 Voyager PIB-CVD

溅射薄膜光学

Voyager PIB-CVD是一个围绕无灯丝的Endeavor射频离子源建立的等离子体离子束辅助化学气相沉积（PIB-CVD）系统。这种获得专利的离子源，通过设计，可以在很大范围内独立控制离子电流密度和离子能量，能够产生高沉积率的多层涂层。它能够在低温下（低于100°C）沉积高速率、高质量的涂层，使其与典型的塑料基材，如聚碳酸酯（PC）和聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）兼容。 Voyager PIB-CVD系统的设计重点是类金刚石纳米复合材料（DLN），为平面（如硅片）和三维部件（如光学镜片）的涂层提供一流的灵活性。该系统配置了Denton的Process Pro控制系统，可以进行自动和手动工艺控制。 此外，还有一个可选的专有腔室配置，以便在DLN沉积期间对DLN（Me-DLN）薄膜进行共溅射。这种配置在业内是独一无二的，为开发具有可定制的机械、电气和摩擦学特性的新型DLN薄膜提供了可能性。 Voyager PIB-CVD平台提供的类金刚石纳米复合材料（DLN）薄膜用于。 柔性和抗划痕显示器 医疗和商业产品的耐磨涂层 红外透明保护膜 疏水涂层