溅射镀膜机
薄膜太阳能

溅射镀膜机 - Denton Vacuum - 薄膜 / 太阳能
溅射镀膜机 - Denton Vacuum - 薄膜 / 太阳能
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产品规格型号

所用技术
溅射
镀层类型
薄膜
应用
太阳能

产品介绍

Infinity IBD系统可以提供密集的、低缺陷的薄膜,具有极高的精度和均匀性。它提供了对离子能量的独立控制,因此你可以实现精确的薄膜规格,并使剥落的污染非常低。 偏置靶材溅射模块对薄膜界面有很好的控制,提供对离子电流和能量的独立控制,并在低压下操作。这消除了光束溢出的污染和散射,防止了表面损伤,实现了严格的应力控制,并创造了致密、无缺陷的薄膜。 BTS模块提高了拥有成本,增加了靶材使用率,使您可以减少整个靶材的尺寸。系统的设计使得在大型基片上实现优异的均匀性成为可能,而无需旋转。与其他IBD平台相比,该模块提供脉冲溅射和更高的沉积率。 所有这些独特的功能和优势都有Denton对长期合作和服务的承诺作为支持。通过我们的专家,您将得到一个高度可靠的配置,以满足您的需求和规格,提供高的系统正常运行时间和易于维护。 氧化钒微测辐射计 精密光学器件(激光器、红外探测器) VCSEL抗反射涂层 高效率太阳能电池 用于磁记录的自旋阀 焦平面阵列 热成像 激光棒面层

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