Infinity IBD系统可以提供密集的、低缺陷的薄膜,具有极高的精度和均匀性。它提供了对离子能量的独立控制,因此你可以实现精确的薄膜规格,并使剥落的污染非常低。
偏置靶材溅射模块对薄膜界面有很好的控制,提供对离子电流和能量的独立控制,并在低压下操作。这消除了光束溢出的污染和散射,防止了表面损伤,实现了严格的应力控制,并创造了致密、无缺陷的薄膜。
BTS模块提高了拥有成本,增加了靶材使用率,使您可以减少整个靶材的尺寸。系统的设计使得在大型基片上实现优异的均匀性成为可能,而无需旋转。与其他IBD平台相比,该模块提供脉冲溅射和更高的沉积率。
所有这些独特的功能和优势都有Denton对长期合作和服务的承诺作为支持。通过我们的专家,您将得到一个高度可靠的配置,以满足您的需求和规格,提供高的系统正常运行时间和易于维护。
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