玻璃透镜 ULE®

硅胶UV紫外线用于光学仪器

康宁® ULE® 玻璃（超低膨胀玻璃）7972 是一种二氧化钛硅酸盐玻璃，具有接近零膨胀的特性，是机床基准块、光栅、基准块、干涉仪基准镜和望远镜镜等独特应用的首选材料。 ULE 是一种单相过冷液体，其 CTE 非常接近 0 ppb/K。 EUV ULE 7973 专门用于满足 EUVL 应用对掩膜和光学基底的需求。 光刻技术从 193 纳米过渡到 13.4 纳米要求步进光学器件的设计从折射式向反射式进行重大转变。在反射式光学器件中，基底材料应该是纯被动的。入射光应在光学器件和光掩膜的多层涂层上反射，而不会因底层基底材料造成任何机械或光学变形。 为了最大限度地减少微小温度变化造成的失真，并满足严格的 EUVL 规范要求，基底必须具有接近零的热膨胀系数 (CTE) 和较低的峰谷 (P-V) CTE 变化。极低的 CTE 要求以每开尔文十亿分之一（ppb/K）为单位。 苛刻的 CTE 要求也迫使康宁不断改进计量方法，以满足 EUVL 的要求。 零交叉温度的离散定制成为可能。 TSGTM 7972 低膨胀玻璃是康宁二氧化钛硅酸盐低膨胀玻璃系列的第三个成员。TSG 具有宽松的绝对热膨胀系数 (CTE) 要求，适用于不需要接近零膨胀材料的应用。