ALD镀膜机 C30H ALD

派瑞林

是实验室测试和工业生产小件的理想选择 完美地适用于3D复杂形状的部件 Al2O3和TiO2的ALD沉积 远程等离子体源 默认情况下，气体面板上有4条加热的前驱体生产线，更多的是根据要求。 总体尺寸（长x宽x高）- 2250 x 1160 x 1450mm 重量 - 350公斤 炉膛尺寸 - ∅ 295 x 370 mm 工具尺寸 - ∅260 x 320 mm 最大模具负荷-100公斤 模具负载能力--150g 泵送能力-40立方米/小时 所需电源 - 3 x 400V + N + PE - 50 Hz 3 x 25A - 15kW 热化室 - 温度范围：20 - 80°C 需要的电源3 x 400V + PE - 50Hz 3x 14A - 9kW 远程等离子体 源 - 频率：1.7 - 3MHz 功率：3000W 原地射频 电容式 等离子体源 - - 标准 可加工的 材料 - Parylene:C, D, N, F-VT4, F-AF4 ALD: Al 2 O 3 , TiO 工艺 温度 - 对二甲苯：室温 ALD: 60 - 80°C