CVD镀膜机 C30S

薄膜派瑞林

是实验室测试和工业生产小件的理想选择 多功能的设备，可升级为多层配置 完美地适用于。 中小型部件（如电子、医疗应用等）。 晶片最大可达 ø 200 mm (8 英寸) 总体尺寸（长x宽x高）- 2100 x 1370 x 2000mm 重量 - 350公斤 炉膛尺寸 - ∅ 295 x 370 mm 工具尺寸 - ∅260 x 320 mm 最大模具负荷-100公斤 模具负载能力--150g 泵送能力-40立方米/小时 所需电源 - 3 x 400V + N + PE - 50 Hz 3 x 25A - 15kW 可加工的对二甲苯 - 类型。C, D, N, F-VT4, F-AF4 热化室 - 温度范围 - 20 - 30°C 选项 - 与所有选项兼容