多气体分析仪 ETG 4500 EIMS

监控工艺流程踪迹

多气体分析仪ETG 4500 EIMS是第一台使用EIMS技术的ETG仪器，它可以高度精确地监测（ppb级）空气中的微量氨（NH3）、氯化氢（HCL）、氟化氢（HF）、酸、NOx、Cl2、丙酮、VOCs和其他气体。 紧凑的设计、高灵敏度、快速反应和分离异构化合物的能力，离子迁移率光谱法（IMS ）是一种强大的分子分析光谱技术，基于均质电场中的离子相互作用，可以在许多行业中进行准确和可靠的测量，特别是在空气质量是一个关键因素的地方。该分析仪采用了该技术的改进版：增强型离子迁移率光谱法。 与旧的IMS相比，优点是： 没有放射源 用MFC控制流量 压力测量 不需要洗涤器 节省光谱 2d光谱 流动性光谱（不是时间光谱） 有可能建立VOC监测 应用： 洁净室的空气污染 半导体工艺应用 电子工业 食品质量控制 气体异味的应用 洗涤器的监测