VT6000 系列共聚焦显微镜是用于测量各种精密设备和材料微米级和纳米级表面的仪器。它以共聚焦技术为原理,结合精密 Z 扫描模块和三维建模算法,对器件表面进行非接触式扫描,建立三维表面图像。通过系统软件,对器件表面的三维图像进行数据处理和分析,获得反映器件表面质量的二维和三维参数。因此,它可以实现设备表面形貌三维测量的光学检测仪器。它可以测量从光滑到粗糙、从低反射率到高反射率的各种表面,以及从纳米到微米的粗糙度、平面度、微观几何轮廓和工件曲率等,并根据 ISO/ASME/EUR/GBT 四种国内外标准提供 300 多种二维和三维参数作为评价标准。
功能特点
1.高精度和高重复性
2.测量分析软件一体化操作
3.精密操纵杆
4.双重防碰撞保护措施
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