一体化设计,结构精巧,外形美观。扫描头和样品台设计在一起,抗震性能强。精确的激光检测和探针对准装置使激光调整简单易行。适应伺服电机手动或自动驱动样品接近尖端,实现精确扫描区域定位。高精度和大范围的样品转移装置,可以扫描任何感兴趣的样品区域;不同类型的扫描器满足不同客户对精度和扫描尺寸的要求;光学观察系统用于针尖检查和样品定位;CCD观察系统用于实时观察和定位样品区域;使用伺服电机实现CCD自动对焦 电子系统设计为模块化,易于维护和开发,集成多种工作模式的控制电子,便于进一步开发。
主要特点
1.扫描头和样品台一起设计,抗震性能强
2.精确的激光检测和探针对准装置使激光调整变得简单而容易。
3.适应伺服电机手动或自动驱动样品接近头,实现精确的扫描区域定位。
4.高精度和大范围的样品转移装置,可以扫描样品的任何感兴趣的区域。
5.光学观察系统,用于检测样品尖和样品定位。
6.电子系统采用模块化设计,便于维护和进一步开发。
7.采用弹簧隔振,简单且性能良好。
---