激光器:532纳米GRN波长的激光器
晶片尺寸:2英寸和4英寸;6英寸可供选择
透明的LED晶圆SD划线等。
低泄漏电流
可编程划线速度
可编辑的划线模式
用于校准的高分辨率相机
SS-200是一款生产型532nm GRN波长的标清激光划线工具,设计用于制造高亮度透明LED晶片。光束传输路径很灵活,其中光束直径调整、激光功率调整和快门控制都可以单独控制。花岗岩光学板对于稳定的光学和机械性能至关重要。SS-200是一个I级激光安全系统;而且它还配备了碎片清除系统,以保持工件的清洁。
由于下一代LED晶圆需要比以前更加精确的对准,SS-200提供了出色的晶圆对准能力。高精度的旋转台可以将晶圆精确地定位在激光束下进行加工。高倍率照相机可以精确地检测晶圆边缘或晶圆上的模具,从而能够预先覆盖激光刻制的图案。
SS-200的应用软件提供了易于使用的友好用户界面,允许创建、编辑、保存和加载配方,使晶圆加工变得非常有效。对于每个SS-200系统,我们都会评估客户的具体要求和计划,以便我们能够定制工具,更好地满足客户的个别需求。
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