水加热器 PUR-X 1000

空气连续循环式防爆燃

应用。 半导体晶圆清洗（湿式工作台）工艺 光阻去除溶剂的加热 用于晶圆漂洗的去离子水加热 用于晶圆干燥的空气和氮气加热 加热酸、IPA、Piranha、NMP等。 适用于单通道或循环系统 特点和优点。 流体路径与加热元件无接触 介质被隔离在PFA（特氟隆®）流管中（高纯度加热）。 允许安全加热危险的液体和气体 流动管可以安全地用于许多腐蚀性的溶剂 流动管可现场更换（无需服务电话 与标准控制器兼容（PID、PLC、多回路等）。 本体有特氟隆®涂层，具有最大的清洁度 自排流管和长寿命的加热元件 规格。 功率。 1.总功率5千瓦至总功率4.5千瓦 电压范围。120 - 415 V 最大线路电流：每路30A 管子。 .375 "外径（3/8"）（9.52毫米 .031"壁 (0.80 mm) 工艺管总长度：190" (4826 mm) PFA (PerFluoroAlkoxy) / Teflon® (标准) 高纯度PFA(可选择升级) 最大压力：70 psi (4.82 bar) 本体。 铝制，带黑色Teflon®保护涂层 外壳。 NEMA 7（防爆）。 最大工作温度。 200°C (392°F) 传感器。 标准的K或J型热电偶（数量为3）。 1个用于过程控制 1个用于高限值保护 1个用于管温保护 可用的附件。 绝缘套 直通联合接头