3D扫描仪

测量白光

胎儿 * - 微深度三维扫描仪 * - 高速/非接触式计量测量 * - 表面分析 * - 非透明的/透明的 应用。 * 触摸板/太阳能电池板/晶圆 * - 微电子机械(MEMS) * - 高密度电路印刷电路板 * - IC封装 * - 多种测量功能：微结构轮廓、尺寸、整体深度、故障膜厚度、视差、角度、粗糙度、平整度 -它是如何工作的- 白光是短时调光- 最好的干涉条纹只产生在焦点位置，排除了焦点外和杂散光造成的干扰，用 "高速表面型CCD相机 "记录最好的干涉条纹的位置。不需要逐点扫描，用 "垂直扫描器 "移动物镜来记录高度位置。，可以再现测量对象的三维表面形貌。