平面度测量系统

光学非接触型

对于要求平面度小于 100 微米的任何表面，市场上都有利用 XY 工作台的 Z 轴光学检测系统。这些系统的价格不菲（接近 3 万美元），尤其是当目标零件尺寸大于 12 英寸（300 毫米）时。 一般来说，在制造过程中，磨削后的表面重复性好，可能不需要 100% 的检测。应用多点平面度检测板，通过 32 个点的空间阵列来突出已知的与完美平面的最大偏差，可以实现更低成本的解决方案，但却能获得 90% 的空间平面度结果。 通过将非接触式传感器多路复用解决方案应用于位置良好的传感器阵列，并使用 Capacitec Bargrafx™ 16 至 32 点软件应用程序，您可以用一半的价格获得平面度曲线。