质谱光谱仪 IMS 7f-Auto

次级离子化质谱半导体工业PMT

多功能SIMS工具：高通量和全自动化的基准检测灵敏度 IMS 7f-Auto是我们获得成功的IMS xf二次离子质谱仪（SIMS）产品系列的最新型号。该仪器旨在提高高精度元素和同位素分析的易用性和生产率，已针对玻璃、金属、陶瓷、硅基，III-V和II-VI族化合物器件、散装物料、薄膜等一系列颇具挑战性的应用进行改良，可充分满足行业对高效器件开发和过程控制的要求。 用于解决各种分析问题的关键分析功能 IMS 7f-Auto提供了具有高深度分辨率和高动态范围的无与伦比的深度剖析功能。高透射质谱仪与两种反应性高密度离子源（O2+和Cs+）相结合，从而提供高溅射速率和极低的检出限。独特的光学设计可实现直接离子显微镜和扫描探针成像。 提高自动化和作业效率 IMS 7f-Auto配有重新设计的同轴一次离子枪筒，可以更轻松、更快速地进行一次离子束调谐，并优化一次离子束流稳定性。新的自动化程序最大限度地减少了由操作员引起的偏差并提高了易用性。带有自动装载/卸载样品架的电动储存室通过分析链和远程操作确保高通量。 在高通量下实现高再现性 借助新型电动储存室和样品转移，IMS 7f-Auto能够分析链式或远程模式下的多个样品。测量可以完全无人值守和自动化，具有无与伦比的通量和可再现性。可实现极高的可再现性（RSD<0.5％）、极低的检出限、高通量和高生产率（工具可每天24小时使用，几乎无需操作员干预）。