四极光谱仪 AKONIS

离子流动性工艺流程半导体工业

用于半导体晶圆厂中成分测量的全自动 SIMS AKONIS SIMS 工具通过直接在半导体生产线中提供对注入分布、成分分析和界面数据的高产量、高精度检测，填补了半导体制造工艺中的重要空白。AKONIS 有非常高的自动化水平，确保了各种工具在晶圆厂工艺控制和工具之间匹配方面的可重复性。