Leybold光学PylonMet是三维零件涂层的一个灵活和多才多艺的高生产量batch-type磁控管飞溅系统。
机器概念允许一种灵活配置和在各种各样的应用的一种多才多艺的部署。 这包括易反应,并且非电抗的磁控管飞溅证言与极间极目标(IPT)。 先进的中频(MF)等离子改进的化学气相沉积(PECVD)来源允许透明外套的证言,并且提高抹抵抗层数。 高效率的真空泵装置,包括有效cryo盘绕系统,并且一个灵活的过程气体管理系统,是进一步关键字元。
优秀涂层通用性的灵活配置
- PylonMet的灵活配置使适用与各种各样飞溅材料的,包括铝、铬、不锈钢、铜,银和许多其他。 它导致在二的不同的颜色和在24小时生产的三维部分。 最高水平反复性保证一致的质量。
高生产力和可靠性由于转体类型前门和容易进入
-转体类型前门允许高度有生产力处理和装货或者卸载序列。 基体被装载对容易对通入定向塔或者随意地,对星球基体装置系统。
自动装货和卸载选择是在系统的高可靠性的一个关键系数。
---