PECVD镀膜机 DLC

用于金刚石碳保护层真空用于光电技术

LEYBOLD OPTICS DLC 是一种高真空等离子增强化学气相沉积（PECVD）系统，主要用于热成像系统的红外（IR）涂层。 行业领导者正在使用 LEYBOLD OPTICS DLC 设备来保护光学设备免受损害，这些设备应用于本机基材上的极硬和环境电阻光学涂层。 系统设计可实现极硬的层表面 LYBOLD OPTICS DLC 系统专为生产类金刚石硬碳 (DLC) 层涂层而设计，用于锗 (Ge) 和硅 (Si) 基材上的红外抗反射应用。 极其坚硬的 DLC 层可保护...的光学表面并提高红外透射率。 层均匀性允许用于低光应用。 根据气体淋浴设计，工艺气体以非常均匀的方式分布在工艺室内。 因此，基板上的层膜的生长非常精确，这是低光应用的关键，如夜视设备、距离控制传感器或其他使用红外波长光的应用。 原位光学监测系统提供了高精度要 求的层厚度和涂层重复性准确性，因此在涂层过程中必须持续控制光学 DLC 薄膜的生长。