LYEBOPTICS GLC 系列 H 是一款专为建筑玻璃涂层需求而设计的水平内联溅射涂层工具。 凭借其独特的隔层设计,LYEBLD OPTICS GLC 系列 H 非常适合具有挑战性的层叠和灵活的产品混装。 典型涂层包括太阳能控制、抗反射、单、双和三重低发射率(低 e)以及太阳能控制涂层。 LYEBLOD OPTICS GLC 系列 H 适用于标准美国和巨型基材尺寸,可配置在尺寸高达 3,3 m * 15,6 m 的玻璃上涂层,
先进的技术确保低生产成本
先进的间隙控制允许最大利用和经济地利用目标材料, 保持低生产成本.
全尺寸双平面阴极要么将给定目标材料的运动时间增加一倍,要么提供第二种材料的灵活性。
独特的气体流量实现高工艺质量
独特的工艺气体流量管理可实现高反应溅射率,目标氧化最低,工艺气体消耗减少。
主动气体分离功能保证了有效的气体分离系数,即使占地面积小。
经过优化的设计可在工艺过程中降低 TMP 功率,从而直接节省能源。
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