PECVD镀膜机 DynaJet

PVD溅射金属化膜

DynaJet是金属化系统Dyna家庭的最新的亲属。这个批飞溅系统结合所有物理蒸气喷镀(PVD)专门技术Bühler最好必须提供。可旋转的负极提供在生产力的一个新的维度。高目标运用提供便宜归属由于长的目标终身。turbomolecular泵装置(TMP)需要常规系统和凉水需要的仅一小部分电能。所有这导致逐年归属费用的重大减少。 长的终身和快速的目标交换由于创新设计 与老版本比较，-新的目标设计提供目标运用70- 80%，提供25%运用。另外，可旋转的负极设计可能增加目标终身多达四次。 改进的过程提供高速涂层和最佳的PVD同质性 -长的可旋转的负极和优化cryo卷保证最佳的PVD同质性。半透明飞溅层数是另一种可能的应用。优化Bühler弧管理保证一个稳定的飞溅过程。新发展计划在等离子改进的化学气相沉积(PECVD)过程中使能高速顶涂层。进一步关键字元是高效率的三阶段前真空泵装置。 新的泵装置提供优秀节能 -平均能量消耗量是归属的费用的一个重要方面。DynaJet的新的泵装置与TMP的保存800000个kW/h在10年与其他机器比较在市场。