工业氧气分析仪 SiBrickScan (SBS) Silicon Ingot Analyzer

浓度用于硅锭

SiBRICKScan (SBS) 是一种专用的在线系统，用于对完整硅锭中的间质氧进行 FTIR 定量，从而在纵轴上生成精确的浓度曲线。 无需锯切晶片或制备测试样品即可获取这些信息，这是一个节省成本的主要优势：在锯切之前对单个锭进行认证，并优化 Si 结晶工艺！ 独特的 SBS 特点： • 高灵敏度，可实现的氧检测限值 < 2 ppma • 高质量校准直接连接到 ASM/SEMI 1188 • 适用于不同直径的方形和圆柱形锭 • 具有集成参考样品的创新高灵敏度光束路径 •直观舒适的用户界面 • 自动化数据评估 • 具有精确线性驱动功能的行业兼容性和坚固的设计 • 无液态 N2 红外探测器