光学轮廓测量仪 ContourX-500

3D白光干涉工业

ContourX-500 光学轮廓仪是全球功能最全面的自动化台式系统，可快速完成非接触式三维表面计量。ContourX-500 具有卓越的 Z 轴分辨率和准确度，并具备布鲁克落地式白光干涉（WLI）仪器广受业界认可的所有优势，而占地面积更小。该款轮廓仪可轻松自主配置，适用于从精密加工表面和半导体工艺的质量保证／质量控制（QA/QC）计量到眼科和微机电系统（MEMS）器件的研发表征等广泛的复杂应用。 布鲁克专有的光学头倾斜/俯仰技术，为用户生产设置和检测提供极大的灵活度。布鲁克将自动倾斜/俯仰功能与显微镜头中的光路相结合，实现了检测点与视线的结合，不受倾斜影响，从而减少操作人员的干预，提供最大可重现性。其他硬件功能包括创新工作台设计，可提升拼接能力；配备一只 5MP 摄像头，并采用 1200x1000 测量阵列，可降低噪声、扩大视场并提高横向分辨率。ContourX-500 将这些功能与自动化平台设置和物镜相融合，而且仅占较小的空间，成为“按需测量”研发和工业计量的理想系统。