光学轮廓测量仪 ContourX-200

3D白光干涉共焦

ContourX-200 光学轮廓仪提供了高级表征能力、可选定制配件、和使用方便三者的完美融合，是同类产品中最快、最准确、可重复性最高的非接触式三维表面计量系统。该计量系统占地面积小，采用更大视场、5MP 数码摄像头和全新电动 XY 工作台，具有卓越的二维/三维高分辨测量能力。ContourX-200 拥有出色的 Z 轴分辨率和精确度，具备布鲁克专有白光干涉（WLI）技术广受业界认可的所有优势，而且不存在传统共聚焦显微镜和同类普通光学轮廓仪的局限性。 ContourX-200 光学轮廓仪依托 40 多年的 WLI 自主创新成果，可满足定量计量所需的低噪声、高速、准确度和精确度。通过使用多种物镜和图案识别，可以亚纳米垂直分辨率在多个视场跟踪特征，为多个行业的质量控制和过程监控应用提供不受尺寸大小影响的结果。ContourX-200 在反射率 0.05% 到 100% 的所有表面情况下都能发挥稳定性能。新增硬件特点包括为获取更大拼接而创新设计的工作台；一只 5MP 摄像头，采用 1200x1000 测量阵列，实现低噪声、更大视场和更高横向分辨率。