InfiniteFocusSL 是一款经济型的 3D 光学 测量系统,可以简单、快速、可追溯地对微观表面结构的形貌和粗糙度进行三维测量。仅用一台设备,即可完成零部件的轮廓和粗糙度测量。 此外,还可以提供高精度和大景深的彩色影像。同时, 3 3 m m 的超长工作距离及50X50mm 测量面积,使此设备得到更加广泛的应用。一次测量可以在几秒钟内完成。于此同时,通过使用共轴激光可以实现更加快速和简便的聚焦。InfiniteFocusSL 拥有全自动化界面,从而可以实现在生产线上的全自动测量。
高测量密度
高达5亿个测量点确保超精密测量,同时也可以保证即使在长工作距离下,也能保持公差在微米甚至亚微米范围内。Focus-Variation光学技术的高测量点密度使操作员能够在大范围测量过程中获得始终如一的高横向和纵向分辨率。
测量倾斜斜面
来自不同方向的光源通过处理可以提高测量效果,从而获得最佳倾斜斜面的数据,也不会受到物镜数值孔径的影响。根据不同的表面特性甚至可以测量达到87度的斜面。
Real3D真实三维测量软件实现全貌测量
通过使用Real3D真实三维测量软件,可以从各个方向测量样品表面。通过将各个单独测量全自动拟合分析可以获得一个三维全貌数据。使用高精度的三维旋转台和倾斜轴可以实现对样品的全自动,可重复,可追溯的测量。