压差流量调节器 GP200

质量用于气体模拟

GP200系列是第一个完全不敏感的基于压力的质量流量控制器（P-MFC），专门为半导体制造中的先进蚀刻和沉积工艺设计。 GP200系列P-MFC具有专利结构，克服了传统P-MFC的局限性，即使在输送低蒸气压工艺气体时也能提供最精确的工艺气体输送。它包括几个独特的设计方面，包括一个集成的差压传感器和一个下游阀门结构，在行业内最广泛的操作条件下实现最精确的工艺气体输送。 由于GP200系列支持如此广泛的工艺条件，它可以作为许多传统P-MFCs和热MFCs的替代品和升级产品。它降低了气体输送系统的复杂性和拥有成本，因为它不需要诸如压力调节器和传感器等部件。 了解有关GP200系列设计的更多细节，并看看它是如何工作的。 特点 真正的差压测量 较低的进口压力操作 下游阀门结构 匹配的瞬态响应 零泄漏的控制阀 MultiFloTM技术提供了无与伦比的灵活性--设备可以为数千种不同的气体和流量范围配置进行编程，而无需将MFC从气路中移除或影响精度 本地显示屏显示流量、温度、压力和网络地址 DeviceNetTM, EtherCAT®, RS-485 L-协议和模拟接口