气体压力控制器 PC series

流量精准

PC100 系列压力控制器和压力表结合大量高性能技术特点，为高要求的半导体、气相沉积和其他超精密制造工艺提供了新的压力控制准确度和可靠性水平。 建立于可靠的 Brooks GF100 质量流量控制器技术之上，PC100 系列特有高纯度全金属流路，专门设计的增强传感器技术以消除传感器漂移，以及用户界面和设备诊断能力，可使设备评价和故障排除更容易，产生有限的维修中断和减少停机时间。 特点 响应时间：<1 秒 满量程流速高达 10 slm 传感器压力范围：1000 Torr FS 全金属密封流路：5µ 英寸 Ra 表面抛光 PC125 使用嵌入式流量计，包括与高速 ARM 处理器结合在一起的高耐腐蚀性 Hastelloy® C-22 流量传感器 快速作用无隔膜阀组件 带有易接近按钮的高可视性 LCD 显示屏，用于流量、温度和网络地址本地指示 独立的诊断/维护端口 DeviceNet™ 协议 优势 高性能部件可提供快速响应和设置时间以改进压力控制 减少旁通排气气体消耗以及相关减排成本 遵从 SEMI F20 的全金属耐腐蚀接液流路与整体减少的表面积及未波及体积一起确保在清洗步骤更快干透 长期热或压力传感器设备稳定性最大限度提高产量和吞吐量 用于要求缓慢上升压力控制过程的用户可编程启动功能 应用 半导体高级蚀刻工具 薄膜化学气相沉积系统（CVD、MOCVD、PECVD、ALD） 物理气相沉积（PVD）系统