质量流量调节器 GF1 series

用于气体

针对半导体工艺的完美性能 嵌入式诊断利用实时以太网数据采集能力 超稳定流量传感器（每年≤设定值0.15%的漂移）使低流量更精准，同时减少维修的需求 改进的阀门关闭（≤bin范围的0.15%）减少阀门内漏，从而改善第一片晶圆效应 新增强的抗压力瞬时波动在持续流体传输中降低了串扰流敏感度 特点 每年<满量程的±0.15%的长期零点稳定性 全金属密封的流体通路：可选5µ 或 10µ inch Ra的表面粗糙度 抗腐蚀的哈氏合金升温传感器在温度升高时改善了测量的重复性 MultiFloTM 气体和量程的可编程性—一台表，几千种气体和量程的组合，无需把MFC从管路上拆除，也不会影响精度 方便的用户显示和独立的诊断/服务端口可帮助仪表安装，监测和故障排查 GF120 安全传输系统(SDS®)是布鲁克斯最先进的低压降质量流量控制计，用于离子注入和刻蚀工艺的负压安全传输系统的气体传输 优势 超常的性能 快速反应时间改进应用效率 灵活的拓扑 几乎无限的网络拓扑可能 简单、坚固 配置，诊断以及维护 负担能力 标准的以太网端口 应用 半导体刻蚀设备 薄膜化学气相沉积系统 (CVD, MOCVD, PECVD, ALD) 物理气相沉积 (PVD) 系统 外延工艺系统