喷雾器 VDM300

Brooks Instrument 的蒸汽输送模块 (VDM) 是用于高精度输送超高纯度去离子水蒸汽的高性能、自足式模块。它的特点是节能设计，能在低温环境下产生超高纯蒸汽。该模块采用了成熟的蒸汽输送技术，并结合了先进的数字控制和集成诊断功能，集成在一个小巧，方便的外壳中。 VDM 专为先进的剥离和金属刻蚀后段钝化工艺设计。相比闪蒸系统，它能提高精度，使流速更快，控制范围更广，功耗更小。基于成熟的热式质量流量测量技术，VDM 能在非过热蒸汽阶段产生蒸气，从而降低去离子水的侵蚀效果，提高了可靠性，改良了清洁操作。 它还通过一个独立的服务端口和直观的图形用户界面，提供人性化的数据记录和诊断功能。 特点 流量范围：3 slpm （去离子水蒸汽） 具有超高流量精度的直接水蒸汽测量 能直接连接到厂房去离子水供应系统 在较低温度下可操作（非过热状态） 冲刷和排水的优化设计 EtherCAT数字通讯 Brooks Expert Support Tool (BEST)图形用户界面 优势 采用了成熟可靠的热式质量流量测量和控制技术 适用于各种FAB去离子水供水的压力 接液件耐腐蚀性能增强 确保更清洁的操作 可匹配各种设备的模拟或数字通讯接口 直接用户界面可增强数据收集或故障排查 应用 硅材料半导体金属刻蚀后段工艺 硅材料半导体金属剥离工艺 在负大气压的环境中超高纯加湿