质量流量调节器 5850EMH

用于气体不锈钢模拟

5850EMH系列高温质量流量控制计 页面副小标题 - 已被验证的长期稳定性，高温应用中超高纯表现 来自 Brooks Instrument 的 5850EMH 系列高温金属密封质量流量控制器结合出色的金属密封泄漏完整性，为高温气体测量和控制提供了最先进的性能，具有多种选择，允许最大的应用灵活性。5850EMH 系列的核心是高稳定的传感器，其提供与流速线性相关的电气输出信号。该信号用于指示、记录和/或控制目的而无需自动归零电路。 特点 高泄漏完整性（小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He） 高纯度 VAR 316L 不锈钢 无磨粒 氦泄漏检查端口 常闭阀（可选常开阀） 电致动阀复位 低命令流量断流 TTL 兼容"关阀"功能 优势 稳定、可靠的产品平台 高流量，高达 100 lpm（N2 当量） 全金属流路提高气体纯度及减少泄漏 仅使用模拟输入/输出容易安装和维修 应用 光纤制造——MCVD，OVD，AVD 水汽流量控制