热质量流量计 GF 125

压差质量用于气体

GF100 系列金属密封热质量流量控制器和仪表 高纯度流路。出色的性能、可靠性和可重现性。 GF100 系列金属密封质量流量控制器和仪表性能：快速响应和可重现的高纯度/超高纯度过程气体输送。专为半导体、MOCVD 等其他气体流量控制应用设计，GF100 系列在可靠性方面优于半导体行业标准水平，可确保测量结果可重现并且长时间使用后性能依然高度稳定。一台采用标准 MultiFlo™ 技术的 MFC 即可满足数千种气体类型和各种量程组合的需求，无需从气路上拆除 MFC 并且不影响精度。 结果：提高工艺灵活性和效率辅以业内最高纯度的过程气体，有助于最大限度提高产率和生产效率。 特点 长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 ± 0.5% 稳定时间：700 ms - <1 秒 全金属密封流路：可选择采用 4µ 或 10µ 英寸 Ra 表面处理的流路 耐腐蚀 Hastelloy® T-Rise 传感器可提升高温下测量结果的可重现性 MultiFlo™ 气体和量程设定功能 — 一台设备即可满足数千种气体类型和各种量程组合的需求，无需从气路上拆除 MFC 并且不影响精度 本地显示屏 可选 SDS 气体输送 DeviceNet™、RS-485 L-协议和模拟接口