FMS洁净环境在线监测系统主要由测量传感器、真空泵控制系统、网络机柜、报警系统和上位机监控软件五大部分组成,可实现对洁净室的洁净度、温湿度、压差、风速等参数的实时监测,并有完整的数据存储和管理功能。
在生产过程中,周围环境的条件通常是不断变化的,而人工监测无法提供连续的监测数据,因此无法估计系统何时偏离规定的工作条件,更无法估计产品的质量。洁净环境在线监测系统避免了人工监测的这一缺点,它在各个点上安装了多个远程粒子传感器,传感器实时测量,并将测量结果传送到计算机上。温度、湿度和压差、风速、浮游细菌数等都由相关的探头测量。
2.灵敏度:0.3μm
3.两个通道。 0.5μm, 5.0μm (可选0.3μm, 0.5μm)
4.数据显示:现场实时数据LCD/无显示
5.通讯方式:标准Modbus-TCP、Modbus-RTU协议或0-5V、4-20mA模拟输出
6.采样流速:2.83L/min或28.3L/min
7.计数效率:50%@0.3μm(符合JIS标准)
8.流量误差:±5%。
9.允许的大采样浓度。35000个/L
10.光源:激光二极管
11.真空源:内置气泵/外置气泵
12.铝合金外壳+不锈钢保护壳
13.电源供应。220V±10%, 50Hz±2Hz
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