MIC-600 激光分析仪采用可调谐二极管激光吸收光谱(TDLAS)原理,即 "单线光谱 "测量技术。采用高稳定、低噪声的量子级联 QCL 可调谐激光器作为光源,通过调制半导体激光器的工作电流强度来调制激光频率,使激光扫描范围略大于被测气体的单吸收光谱,并采用锁相放大。技术上,当半导体激光器发射的特定波长的激光束通过测量管时,会被待测气体进行频率选择性吸收,导致激光强度衰减。因此,该系统利用不同气体成分的不同特征吸收线以及气体浓度与红外线或激光吸收光谱之间的比尔-朗伯关系,并可通过检测吸收线的吸收大小(即激光强度衰减信息)获得被测气体的浓度。由于只发射待测气体特征波长的光,且只有待测气体能吸收该波长的光,因此不受背景气体的干扰,有效克服了水蒸气、灰尘等因素的干扰,实现了精确快速的测量。可测量工艺气体成分。其中特定气体的浓度,包括 CO、CO2、CH4、O2、H2S、HCL、H2O、HF、NH3、NO2、NO、SO2、SO3、N2O 等。
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