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平面磨床 IVG series 自动双轴单轴
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产品规格型号
- 类型
- 平面
- 操控类型
- 自动
- 轴数
- 双轴, 单轴
- 其他特性
- 自动装卸
- 其他特性
- 高精度
- 主轴速度
最多: 6,000 rpm
(37,699 rad.min-1)最少: 0 rpm
(0 rad.min-1)
产品介绍
全自动减薄机是配有全自动上、下片系统的高精度研削设备，采用晶圆机械手取片，带有自动对中、清洗、干燥功能，可实现盒到盒、干进干出的全自动减薄抛光研削加工。
功能全面
具有自动测厚补偿、多段研削程序、超负载等待等功能，满足各类工艺需求
配置丰富
可配置单轴、双轴研削单元
全自动系统
全自动上下片，干进干出的全自动研削系统
兼容性好
可根据客户需求定制各类工作台，满足各类半导体材料的研削薄化工艺
