平面磨床 IVG series
自动双轴单轴

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产品规格型号

类型

平面

操控类型

自动

轴数

双轴, 单轴

其他特性

自动装卸

其他特性

高精度

主轴速度

最多: 6,000 rpm
(37,699 rad.min-1)

最少: 0 rpm
(0 rad.min-1)

产品介绍

全自动减薄机是配有全自动上、下片系统的高精度研削设备，采用晶圆机械手取片，带有自动对中、清洗、干燥功能，可实现盒到盒、干进干出的全自动减薄抛光研削加工。功能全面具有自动测厚补偿、多段研削程序、超负载等待等功能，满足各类工艺需求配置丰富可配置单轴、双轴研削单元全自动系统全自动上下片，干进干出的全自动研削系统兼容性好可根据客户需求定制各类工作台，满足各类半导体材料的研削薄化工艺