金属抛光机 POLI-762

精准旋转台式机械

POLI-762是小型12英寸CMP机台，采用手动装片方式，可选配半自动loading托盘，气囊薄膜柔性加压，可配置摩擦力&温度终点监控系统，用于氧化物、金属、STI、SOI、MEMS等产品的平坦化抛光，应用广泛。 功能全面 具备气囊背压功能，抛光盘内置冷却系统，可选配摆臂式修整器、摩擦力&温度检测终点监控功能、分区加压系统 操作简便 PC控制系统，触摸屏控制，可选配半自动loading托盘，一键式自动完成CMP加工 兼容性好 3路独立供液管路，便捷更换式抛光盘，可更换4、6、8、12英寸抛头，兼容不同尺寸、类型的晶圆 占地面积小 尽量减少洁净间的占地面积