热质量流量传感器 TFSC100

空气

TFSC100型热式流量传感器芯片是为制造流量传感器（如BCM SENSOR的TFS2100流量传感器）而开发的。由于TFSC100芯片中没有任何运动部件，这种传感器芯片适用于测量空气或气体的低流速，并能为流量传感器提供稳定可靠的信号。 该传感器芯片的流量测量是通过一个热桥实现的，它由四个热敏电阻组成一个完整的惠斯通桥电路。这些热敏电阻是由芯片上的铂金薄膜通过MEMS工艺制成。基于测量电路的专用设计，远离加热器的两个热敏电阻的特性与靠近加热器的另外两个热敏电阻的特性相同。这使得流量传感器芯片TFSC100能够作为一个线性传感器芯片工作。 为了解该传感器芯片的工作原理，建议参考本说明书中工作原理部分的两张原理图。 虽然金线和铝线都可以用来粘合，但更推荐使用金线。这是因为金线可以为该传感器芯片提供更高的稳定性和更高的抗腐蚀和抗潮湿能力，当该传感器芯片测量流动介质时。 为了保护这个传感器芯片，在TFSC100芯片的顶部表面有一个钝化层，它为芯片提供了对灰尘和水分的抵抗力。