质量流量调节器 F4H

用于气体紧凑型数码

该设备是一种高性能的紧凑型数字质量流量控制器，具有先进的设备功能。 它具有高速、宽范围的流量控制和1%SP的精度。由于电源与信号电路的隔离，电源噪声不会影响模拟信号。 它实现了高的噪声容忍度。 F4H型比我们的传统型号小50%。 有效地利用数字通信 通过F4H模型的通信，可以上传许多对故障诊断有用的信息。 此外，通过智能设备网关（NX-SVG），F4H模型可以与主要的可编程逻辑控制器通信。 高抗噪性 信号电路与电源是隔离的。 由于这一特点，来自电源布线的噪声对信号没有影响。 降低总体成本 通过与PLC从模拟连接切换到数字连接，可以取消模拟I/O模块。 PVD(物理气相沉积) MFC为腔体提供氩气以产生等离子体。