热质量流量传感器 MCS100

质量空气在线

MCS100 系列的空气质量流量传感器适用于各种物理科学设备的空气流量测量以及微小电子零件的真空吸入确认。 具有 *-5 毫秒的高速响应，由 Azbil 原有技术的质量流量计传感器 *-与标准压力传感器相比，可在拾取和非拾取条件之间确保更大的输出差异 *-紧凑而轻便，允许安装流量传感器甚至在喷嘴上方的任何位置（直接安装在喷嘴和喷射器之间的空气管上），实现高响应检测拾取 *-MCS 独特的流量测量系统确保了精确的检测，该系统不受压力传感器等吸入压力波动的影响是 *-控制器侧由于模拟输出信号，即使皮卡喷嘴更换，也可以在控制器侧进行单设置控制。在非拾取状态下，可以通过流速检测过滤器堵塞或喷嘴变形 *-安装过程中可以检测到芯片的拾取和回退，因为可以检测到正向和反向的流量