热质量流量计 CMS

质量用于气体在线

高性能、高范围能力气体流量计。 描 述 CMS 系列气体质量流量计采用我们专有的热流量传感器作为传感元件。通过采用微加工技术和先进的超细通道设计制造的超微型质量流量传感器的集成，以低成本实现了前所未有的高精度和宽测量范围。 这些流量计具有易用性和高可靠性，将为未来树立标准。 该热型流量传感器采用硅微加工和薄膜技术制造，厚度仅为 1,7 mm² 和 0,5 mm。 超精密加工技术的使用最大限度地减少了元件布局和热容量的变化。在传感器芯片级达到 1 mm/s 的高分辨率和大约 2 ms 的高速响应。 当气流不存在时，加热器周围的温度分布是对称的。当气体开始从 Ru 流向 Rd 时，Ru 上游的温度开始下降，而 Rd 下游的温度上升，从而导致温度分布的对称性失真。 Ru 和 Rd 之间的温差用于计算质量速度（速度 x 密度）。