■ 快速沉降时间1000:1
■ 刚性稳定设计 IP 40
基于MEMS的独立式质量流量控制器(MFC),专为需要屏蔽和IP40保护的OEM应用设计。基于铂金的MEMS芯片技术保证了在整个流量范围内的出色稳定性和可重复性。由于其无与伦比的动态范围和多气体能力,Axetris MFC模块可以用一个单元取代几个传统的质量流量控制器。
紧凑和坚固的设计使它也成为便携式应用的理想选择,例如泄漏测试设备或任何其他手持系统。
- 紧凑型设计,防护等级为IP40
- 可靠的控制性能和低维护率
- 根据客户要求进行配置