质量流量调节器 MFC 2022用于气体紧凑型精准
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产品规格型号
- 所用技术
- 质量
- 液体类型
- 用于气体
- 其他特性
- 紧凑型, 精准, 电子
- 流量
最多: 10 l/min
(2.64172 us gal/min)最少: 0 l/min
(0 us gal/min)- 压力
最多: 5 Pa
(0 psi)最少: 0 Pa
(0 psi)
产品介绍
■ 超紧凑的尺寸
■ 快速沉降时间1000:1
■ 长期稳定性高
Axetris质量流量控制器OEM-模块（MFC）采用基于铂金的MEMS芯片技术，在整个流量范围内保证了出色的稳定性和可重复性。由于其无与伦比的动态范围和多气体能力，MFC模块可以用一个单元取代几个传统的质量流量控制器。本模块的目标气体为 N₂、Air、O₂、CO₂、Ar、He 和 H₂。紧凑和坚固的设计使它也成为便携式应用的理想选择，例如泄漏测试设备或手持式系统。
OEM质量流量控制器OEM-模块目前有不同的变化，通过RS232 TTL或EIA、RS485半双工或全双工以及模拟信号（0-5V或4-20mA）进行通信。
- 具有高动态范围的气体流量控制
- 多气体选项，具有最大的灵活性
- 占地面积小，易于集成
